公募情報
省庁関連国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO)ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（助成）（c1）高出力EUV露光装置向けペリクル開発【GX】
- 対象分野
対象課題 - 〔2〕先端半導体製造技術の開発（助成）
（c）露光周辺技術開発
（c1）高出力EUV露光装置向けペリクル開発【GX】
- 助成金額
- 提案 1 件当たりの初回ステージゲート審査までの提案時助成費は、原則として21 億円以下とする。（助成率：1/2）
- 助成期間
- 研究開発開始時点から原則5年（60カ月）以内
- 学内締切
- 2025年11月21日※提案書を担当までご提出ください。準備中の場合はご相談ください。
- 提出期限
- 2025年12月08日 12時00分
- 問合せ先
- <研究推進課>（文京・敦賀）
研究企画管理・知的財産担当（研究協力）
0776-27-8880（内線：文京2057、2943）
rp-kenkyo@ml.u-fukui.ac.jp
＜松岡キャンパス研究推進課＞（松岡）
研究企画管理担当
0776-61-8189（内線：松岡2028）
m-kenkyu@ml.u-fukui.ac.jp
- 問合せメール
- rp-kenkyo@ml.u-fukui.ac.jp